简述:
全自动等径提拉单晶炉是直拉法晶体生长专用设备,可实现在高压、真空和保护气氛下直拉生长晶体
可生长LN、LT、YAG、LYSO、GGG、BGO、YCOB、SAPPHIRE、氟化物晶体
采用自动称重结构,在保证晶体品质的前提下实现了直拉晶体的自动生长过程
可在真空、大气、充入氧及惰性气体及可控的局部压力状态下运行
特点:
高精度的传感器和控制软件
控制软件,简单易学,实时记录,稳定可靠
抗干扰性强
多重保护
提拉、旋转系统稳定可靠
加热方式:感应及电阻加热
连续工作模式
可根据客户要求定制设备
主要技术指标:
腔室:内径600mm-1000mm
提拉行程:600mm
提拉精度:1微米
爬行<0.001mm
提拉速度:0-50mm/hr,光栅显示标尺,
配有快速手/自动操作
旋转速度:0-50rpm
称重重量:6kg-100kg可选,
精度10mg
真空系统:机械泵,扩散泵,分子泵
气氛:MFC
加热器:感应/电阻